豊富な水と緑豊かな自然に囲まれている三重工場は、自然環境と先進の半導体製造工場の共存を目指しています。環境マネジメントの国際規格であるISO14001認証を取得しています。
工場紹介
| 所在地 | 〒511-0118 三重県桑名市多度町 御衣野2000 |
|---|---|
| 工場長 | 三沢 信裕 |
| 竣工 | 2005年4月（300㎜工場） |
| 生産品目 | 300㎜ロジック半導体ウェハー |
三重300㎜ライン
工場長挨拶
三重工場長
三沢 信裕
1984年10月に先端半導体の中核工場として操業を開始した三重工場は、地域の皆様のご理解とご支援に支えられ、洗練された製造技術や独自技術を用いて世界中のお客様に高品質のテクノロジーとサービスを提供しています。 今後も、皆様に愛され、信頼される工場を目指してまいります。
アピールポイント
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ロジック、バイポーラ、メモリの開発試作・量産の拠点として1984年に操業を開始し、40年に亘って、日本の半導体産業の成長に貢献してきました。
USJC沿革 -
環境にやさしい半導体製造工場を目指し、最新の省エネ技術の導入や資源の有効利用を進めています。
安心・安全な工場への取り組み -
世界に先駆けて導入したハイブリッド免震建屋、リチウムイオンキャパシタによるバックアップ電源、LNGサテライト基地など、先進の災害リスク対策を講じています。
三重300㎜ライン
三重300㎜ライン
本工場は操業開始当初から、先端ロジックLSIのファウンドリ製造受託を主力とし、ファウンドリ事業に対応した製造体制、情報管理、品質管理およびカスタマーサポートの体制を確立しています。ISO14001に則り、「環境にやさしい工場」を追求するとともに、ISO9000シリーズおよび車載向けのIATF16949の認証に基づいた品質保証管理体制を確立するなど、安全や品質の向上に向けて、全力で取り組んでいます。
| B1棟 | B2棟 | |
|---|---|---|
| 操業開始 | 2005年 | 2007年 |
| 延床面積 | 38,000㎡ | 80,000㎡ |
| クリーンルーム面積 | 17,000㎡ | 30,000㎡ |
| 所在地 | 三重県桑名市 | |
| ウェハーサイズ | 300㎜ | |
| プロセステクノロジー | 40㎚・55㎚・65㎚・90㎚ | |
| 製造能力 | 38,400枚/月 | |
| 認証 | ISO9001・ISO14001・IATF16949・ISO27001・ISO22301・ISO45001 | |
| 主な特徴 | 免震構造のクリーンルーム、液化天然ガスサテライト基地、リチウムイオンキャパシタ(LIC)を保有し、大規模災害リスクに対応している。 | |
工場の主な特徴
旋回流誘引型成層空調システムSWIT®
当クリーンルームで採用した旋回流誘引型成層空調システム、SWIT®は、クリーンルーム内で温度成層を形成し、機器などの発熱体から発生する熱上昇流とともに浮遊微粒子を室上部へと搬送するシステムです。室内下方の作業域では清浄度が効率的に高まるため、従来方式と比較して給気風量の削減が可能となります。また、給気温度を高く設定することができるため、冷水温度を上げることによるエネルギー効率の向上にもつながります。今回、年間消費エネルギーは従来方式と比較して、搬送動力 約47％、熱源動力 約32％削減可能と想定しています。
免震構造
地震対策として、半導体工場では世界初のハイブリッド免震構造を採用しています。建物と基礎の間に設置された3種類の免震装置が、通常時には微振への影響を最小限に抑え、お客様への安定供給を実現しています。
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免震装置「積層ゴム系支承」 ゴムが振動を吸収し、建物の揺れを減衰します。
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免震装置「剛すべり支承」 テフロン加工されたすべり面が横に移動し建物の揺れを拡散します。
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免震装置「オイルダンパー」 剛すべり支承の移動幅を制限します。
LNG基地
大規模災害時の都市ガス停止に備え、液化天然ガス（LNG）サテライト基地を設置しています。これにより、ガス燃料の供給停止に対して、サテライト基地とローリー車によるLNG補充が可能となります。今後も災害などへの工場インフラ基盤を一層強化していきます。
2系統の幹線給電
三重工場には2系統の幹線給電があります。一方に障害が発生（停電）した場合は、2秒以内に他方の幹線に自動的に切り替わり、その間の生産ラインへの給電はリチウムイオンキャパシタが行うため、連続操業が可能です。
リチウムイオンキャパシタ(LIC)